特許

J-GLOBAL ID：200903068805264445

ワークの研磨方法及び装置

発明者： 屋 鋪 博 ,  永 井 学 ,  中 條 吉 広
出願人/特許権者： スピードファム株式会社
代理人 (1件)： 林 宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-268673
公開番号（公開出願番号）：特開2001-088020
出願日： 1999年09月22日
公開日（公表日）： 2001年04月03日
要約：

【要約】【課題】 平面研磨装置でワークを研磨加工するに当たり、研磨材スラリーの供給量を適正にコントロールすることによってハイドロブローニング現象の発生を抑え、ワークがキャリヤから外れるのを防止して該ワークを確実に研磨加工できるようにする。【解決手段】 太陽歯車11の回りを公転しながら自転するキャリヤ15にワークWを保持させ、このワークWを回転自在の上下の定盤13,14により両側から挟持し、両定盤13,14間に研磨材スラリーを供給しながら、該定盤13,14の回転速度及び加工荷重を複数段階に制御してワークWを研磨加工するに際し、加工初期における定盤の回転速度及び/又は加工荷重が小さい間はポンプ33によるスラリー供給量を定常加工時の流量より少なく抑え、回転速度及び/又は加工荷重の増加に伴ってスラリー供給量を増大させるようにする。

請求項（抜粋）：

太陽歯車の回りを公転しながら自転するキャリヤにワークを保持させ、このワークを回転自在の上下の定盤により両側から挟持し、両定盤間に研磨材スラリーを供給しながら、該定盤の回転速度及び加工荷重を複数段階に制御してワークを研磨加工する方法であって、加工開始後の定盤による加工荷重が小さい間はポンプによるスラリー供給量を最大流量より少なく抑え、加工荷重の増加に伴ってスラリー供給量を増大させることを特徴とするワークの研磨方法。

IPC (4件)：

B24B 37/00 ,  B24B 7/17 ,  B24B 7/24 ,  B24B 57/02

FI (4件)：

B24B 37/00 K ,  B24B 7/17 Z ,  B24B 7/24 E ,  B24B 57/02

Fターム (15件)：

3C043BB06 ,  3C043DD06 ,  3C047FF08 ,  3C047GG19 ,  3C047GG20 ,  3C058AA07 ,  3C058AC04 ,  3C058BA02 ,  3C058BA04 ,  3C058BA06 ,  3C058BA09 ,  3C058CA01 ,  3C058CB06 ,  3C058DA06 ,  3C058DA09