揺動体装置、及びその作製方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：加藤一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-320765
公開番号（公開出願番号）：特開2006-136084
出願日： 2004年11月04日
公開日（公表日）： 2006年05月25日
要約：

【課題】可動櫛歯状構造体と固定櫛歯状構造体の間の噛み合いアライメントを比較的容易に達成できる揺動体装置である。【解決手段】揺動体装置は、可動板102と、可動板102を支持基板105に対して揺動可能に軸支する軸支部101と、可動板102から延びる第一の可動櫛歯状構造体104と、第一の可動櫛歯状構造体104上に設けられる接続層111と、接続層111を介して第一の可動櫛歯状構造体104に接合され且つ第一の可動櫛歯状構造体104とほぼ同じ方向に延びる第二の可動櫛歯状構造体112と、第一の可動櫛歯状構造体104と隔間して噛み合わさる位置に配置される第一の固定櫛歯状構造体115、116と、第二の可動櫛歯状構造体112と隔間して噛み合わさる位置に配置される第二の固定櫛歯状構造体113、114と、可動櫛歯状構造体と固定櫛歯状構造体との間に静電力を働かせて可動板102を揺動・変位させる静電駆動手段を備える。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

可動板と、可動板を支持基板に対して揺動可能に軸支する少なくとも1つの軸支部と、可動板から延びる第一の可動櫛歯状構造体と、第一の可動櫛歯状構造体上に設けられる接続層と、接続層を介して第一の可動櫛歯状構造体に接合され且つ第一の可動櫛歯状構造体とほぼ同じ方向に延びる第二の可動櫛歯状構造体と、第一の可動櫛歯状構造体と隔間して噛み合わさる位置に配置される第一の固定櫛歯状構造体と、第二の可動櫛歯状構造体と隔間して噛み合わさる位置に配置される第二の固定櫛歯状構造体と、第一の可動櫛歯状構造体と第一の固定櫛歯状構造体、または第二の可動櫛歯状構造体と第二の固定櫛歯状構造体との間に静電力を働かせて可動板を揺動・変位させる静電駆動手段を備えることを特徴とする揺動体装置。

IPC (4件)：

H02N 1/00 , B81B 3/00 , G02B 26/08 , G02B 26/10

FI (4件)：

H02N1/00 , B81B3/00 , G02B26/08 E , G02B26/10 104Z

Fターム (9件)：

2H041AA12 , 2H041AB14 , 2H041AC06 , 2H041AZ02 , 2H041AZ06 , 2H041AZ08 , 2H045AB06 , 2H045AB16 , 2H045AB73

引用特許：

出願人引用 (1件)

光走査装置、その製造方法、その光走査装置を具備する画像形成装置、及び読取装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-039279 出願人：株式会社リコー

前のページに戻る