特許
J-GLOBAL ID：200903068815822667

電子部品吸着装置および電子部品試験装置

発明者：
清川 敏之

清川 敏之 について

, 
高橋 弘行

高橋 弘行 について


出願人/特許権者：
株式会社アドバンテスト

株式会社アドバンテスト について


代理人 (1件)： 前田 均 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-263563
公開番号（公開出願番号）：特開2001-091582
出願日： 1999年09月17日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：
【要約】【課題】 特に、低温試験時における電子部品の結露を防止しつつ、電子部品の吸着ミス防止や吸着解除動作時間の短縮を図ることができる経済的な電子部品試験装置および電子部品吸着装置を提供すること。【解決手段】 ICを吸着する吸着ヘッド304cと、吸着ヘッド304cに吸着力を付与するエジェクタ305cと、吸着ヘッド304cからICに対してエアーを吹き付け、吸着ヘッド304cの吸着力を解除する破壊弁305eと、吸着ヘッド304cからICに対して吹き付けられるべきエアーの除湿を行う除湿ユニット305dとを有する吸着装置。
請求項（抜粋）：
電子部品を吸着する吸着ヘッドと、前記吸着ヘッドに吸着力を付与する吸着力付与手段と、前記吸着ヘッドから前記電子部品に対して流体を吹き付け、前記吸着ヘッドの吸着力を解除する吸着力破壊手段と、前記吸着ヘッドから前記電子部品に対して吹き付けられるべき流体の除湿を行う除湿手段とを有する電子部品吸着装置。
IPC (2件)：
G01R 31/26 ,  H01L 21/66
FI (3件)：
G01R 31/26 Z ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 G
Fターム (21件)：
2G003AA07 ,  2G003AC03 ,  2G003AD02 ,  2G003AD04 ,  2G003AF05 ,  2G003AF06 ,  2G003AG03 ,  2G003AG10 ,  2G003AG11 ,  2G003AG16 ,  2G003AH04 ,  2G003AH07 ,  4M106AA02 ,  4M106BA20 ,  4M106CA31 ,  4M106DG03 ,  4M106DG08 ,  4M106DG16 ,  4M106DG19 ,  4M106DG28 ,  4M106DJ33
引用特許：
審査官引用 (2件)
  • 特開平4-201085
  • 圧縮空気清浄除湿装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-025575   出願人：株式会社コガネイ

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