特許

J-GLOBAL ID：200903068817919021

マトリクスアレイ基板の製造方法

発明者： 寺 田 茂 樹
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-101645
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292811
出願日： 1999年04月08日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：

【要約】【課題】 検査時間及び検査コストを低減し、且つ歩留まりの向上が可能なマトリクスアレイ基板の製造方法を提供する。【解決手段】 全ての画素電極が繋がったべた画素電極パターン15を形成し、このべた画素電極パターン15に設けた検査端子15P及び信号線端子3Pの一方に電圧源又は信号源を接続し、他方に計測器を接続して電圧等を観測することで、全ての画素に対して一括した検査が可能である。

請求項（抜粋）：

絶縁基板上に、アレイ電極パターンと画素電極とが絶縁膜を介してマトリクス状に配置され、前記絶縁膜に設けられたスルーホールを介して前記アレイ電極パターンと前記画素電極とが接続されており、前記アレイ電極パターンには信号線が接続されたマトリクスアレイ基板の製造方法において、前記スルーホールが形成された絶縁膜上にべた画素電極を形成する工程と、前記べた画素電極と前記信号線とのいずれか一方に、所定の信号を印加し、他方から前記信号を測定する検査工程と、前記べた画素電極を各画素毎に分離して前記画素電極を形成する工程と、を備えることを特徴とするマトリクスアレイ基板の製造方法。

IPC (2件)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/13 101

FI (2件)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/13 101

Fターム (21件)：

2H088EA03 ,  2H088FA13 ,  2H088FA18 ,  2H088HA02 ,  2H088HA08 ,  2H088MA20 ,  2H092JA46 ,  2H092JB13 ,  2H092JB23 ,  2H092JB32 ,  2H092JB33 ,  2H092JB56 ,  2H092JB63 ,  2H092JB69 ,  2H092KA04 ,  2H092KA07 ,  2H092KB14 ,  2H092MA57 ,  2H092NA25 ,  2H092NA27 ,  2H092NA30