特許
J-GLOBAL ID：200903068822071847
カンチレバー位置決め装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-088278
公開番号（公開出願番号）：特開平8-285864
出願日： 1995年04月13日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：
【要約】【目的】本発明は、カンチレバーの位置調整及び姿勢調整が可能であり、圧電体のドリフトやクリープ等に影響されず、試料走査中においてもカンチレバーを初期設定位置にホールドできるカンチレバー位置決め装置を提供することを目的とする。【構成】 本発明は、STM等において、試料11上を走査する測定用の先端部に探針5を有するカンチレバー3が取付けられた積層型圧電素子2の伸縮方向の歪みを検出する方向で、対向して配置される歪みゲージ4a,4bと、検出された歪み検出信号を演算処理する歪み検出部9と、算出された歪み量に基づき、初期設定位置に探針5が設定されるように積層型圧電素子2の伸縮して位置補正する圧電素子駆動部10とで構成されるカンチレバー位置決め装置である。
請求項（抜粋）：
予め設定された初期設定位置を有し、先端部に探針が設けられ、該探針を試料表面上に走査させて、生じた撓み角及び捻れ角より試料表面の形状及び摩擦力分布を測定するためのカンチレバーと、前記カンチレバーの末端の基部に取付けられ、所定の電圧印加により、前記試料と前記探針の相対位置関係を自在に移動可能な圧電素子と、前記圧電素子の伸縮する方向を検出可能に配置される、少なくとも2個以上の歪みゲージ変位センサと、前記歪みゲージ変位センサを含みブリッジ回路構成され、歪みゲージ変位センサの出力に基づき、前記初期設定位置からの移動量となる変位量を算出する変位量算出手段と、を具備し、算出された前記変位量に基づき前記圧電素子を駆動させて、カンチレバーを前記初期設定位置に補正することを特徴とするカンチレバー位置決め装置。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, G05D 3/00
, H01J 37/28
G01N 37/00 A
, G01B 21/30 Z
, G05D 3/00 G
, H01J 37/28 Z
