特許
J-GLOBAL ID：200903068822618480
微細表面形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-269129
公開番号（公開出願番号）：特開2000-097691
出願日： 1998年09月24日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：
【要約】【課題】 機械部品の微小穴や微細溝の内面計測などにおいて、測定対象物が導電体/非導電体に関わらず計測でき、表面の汚染やゴミに強く、高精度かつ測定自由度の高い微細表面形状測定装置を実現することを目的とする。【解決手段】 触針1をその共振周波数付近で振動させ、触針1上に設けられた圧電材料19により共振状態を検出し、直交検波回路により触針1と測定対象13の接触を検出する。X、Y、Z、θステージを動かし、触針1と測定対象13を適当に相対移動させ、各ステージの位置を連続的に記録することにより、触針1がなぞった測定対象面の3次元座標を求めることができる。本発明によれば、測定対象が導電性/非導電性を問わず、表面の酸化膜やゴミ、ほこりの影響を受けない、高精度で自由度の高い、微細表面形状の3次元測定が可能な微細表面形状測定装置を得ることができる。
請求項（抜粋）：
測定対象面の形状を測定する装置において、梁構造を有する触針と、前記触針をその共振周波数付近で振動させる振動手段と、前記触針の歪みを検出する歪み検出手段と、検出される歪みの状態が一定になるように前記触針をその振動方向に位置決めする位置決め手段と、前記触針と測定対象面とを相対的に位置決めする移動手段とを備えたことを特徴とする微細表面形状測定装置。
Fターム (20件)：
2F069AA57
, 2F069AA60
, 2F069DD19
, 2F069DD25
, 2F069GG02
, 2F069GG06
, 2F069GG11
, 2F069GG39
, 2F069GG52
, 2F069GG56
, 2F069GG62
, 2F069HH04
, 2F069JJ05
, 2F069LL03
, 2F069MM04
, 2F069MM21
, 2F069MM23
, 2F069MM31
, 2F069NN00
, 2F069PP02
