特許
J-GLOBAL ID：200903068827171297
高周波プラズマ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-008952
公開番号（公開出願番号）：特開平5-198390
出願日： 1992年01月22日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：
【要約】【目的】 簡単な構成で回転電極に高周波を供給することができる高周波プラズマ装置を実現する。【構成】 回転軸6の下部には、複数の円筒状の回転翼14が取り付けられている。この回転翼14の間には、複数の円筒状の固定翼15が配置されており、これらの固定翼15と各回転翼14の中心は同心状に配置されている。この固定翼15は、駆動機構16によって図中矢印に示す方向に移動可能にされている。この固定翼15はマッチングボックス17を介して高周波電源4に接続されている。このような構成で、インピーダンスの整合を行う場合には、マッチングボックス16内の可変コンデンサの調整と、固定翼15を直線的に移動させて、固定翼15と回転翼14とが形成する可変コンデンサの容量を変化させることによって行う。
請求項（抜粋）：
チャンバー内に対向して配置された一対の電極と、一方の電極を回転させる手段と、回転する電極に接続された回転軸と、回転軸に設けられた回転翼と、回転翼との間でコンデンサを形成する固定翼と、回転翼と固定翼とによるコンデンサの静電容量を変化させるため、固定翼を一方向に直線的に移動させるための手段と、高周波電源と、高周波電源と固定翼との間に配置され、高周波電源からの高周波のインピーダンス整合を行うためのマッチングボックスとを備えた高周波プラズマ装置。
IPC (5件)：
H05H 1/46
, C23C 14/40
, C23F 4/00
, H01L 21/203
, H01L 21/302
