特許
J-GLOBAL ID：200903068834577363
遮光隔壁形成用のアルカリ現像型黒色感光性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
▲吉▼田 繁喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-149626
公開番号（公開出願番号）：特開2007-322485
出願日： 2006年05月30日
公開日（公表日）： 2007年12月13日
要約：
【課題】20μm以上の厚膜でも露光の際の深部硬化性、解像性に優れ、現像の際にアンダーカットを発生せず、充分な遮光性を示す硬化物を形成できるアルカリ現像型の黒色感光性樹脂組成物、その硬化物及び該硬化物からなる遮光隔壁を提供する。【解決手段】遮光隔壁形成用のアルカリ現像型黒色感光性樹脂組成物は、(A)カルボキシル基を含有する感光性プレポリマー、(B)光重合開始剤、(C)黒色顔料及び(D)光透過性の微粒子を必須成分として含有する。この組成物を用いることにより、フォトリソグラフィー法により高さ20μm以上の遮光隔壁11を形成することができる。好適な態様においては、前記(C)黒色顔料としては金属酸化物、好ましくは酸化鉄が用いられ、また、前記(D)微粒子としては、屈折率1.40〜1.90の無機微粒子、好ましくはシリカが用いられる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
フォトリソグラフィー法により高さ20μm以上の遮光隔壁を形成するための黒色感光性樹脂組成物であって、(A)カルボキシル基を含有する感光性プレポリマー、(B)光重合開始剤、(C)黒色顔料及び(D)光透過性の微粒子を必須成分として含有することを特徴とする遮光隔壁形成用のアルカリ現像型黒色感光性樹脂組成物。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G03F7/004 501
, G03F7/004 505
, G02B5/00 B
2H025AA03
, 2H025AB14
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC42
, 2H025BC74
, 2H025CA00
, 2H025CC08
, 2H025CC12
, 2H025CC20
, 2H025FA17
, 2H042AA09
, 2H042AA15
, 2H042AA26
出願人引用 (2件)
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正立等倍レンズアレイ
公報種別：公開公報
出願番号：特願2003-003360
出願人：日本板硝子株式会社
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樹脂正立レンズアレイ
公報種別：公開公報
出願番号：特願2002-180173
出願人：日本板硝子株式会社
審査官引用 (9件)
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