特許

J-GLOBAL ID：200903068838576329

結晶の連続引き上げ方法及び装置

発明者： 藤田 健太郎 ,  寺尾 健二 ,  磯崎 秀之 ,  佐藤 巌
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-125064
公開番号（公開出願番号）：特開2000-319088
出願日： 1999年04月30日
公開日（公表日）： 2000年11月21日
要約：

【要約】【課題】 従来の引き上げ装置の問題点を解決し、結晶成長の開始時には種結晶を融液の所定位置に正確に下ろすことができ、いったん成長が開始したら連続的に引き上げることができる結晶の引き上げ方法及び装置を提供する。【解決手段】 種結晶12及びこの先端で成長するリボン状結晶16を直線引き上げ装置30で鉛直方向に引き上げた後に、引き続いて連続引き上げが可能な引き上げ機構40で前記リボン状結晶16を連続的に引き上げる。

請求項（抜粋）：

種結晶及びこの先端で成長するリボン状結晶を直線引き上げ装置で鉛直方向に引き上げた後に、引き続いて連続引き上げが可能な引き上げ機構で前記リボン状結晶を連続的に引き上げることを特徴とする結晶の連続引き上げ方法。

IPC (3件)：

C30B 15/06 ,  C30B 15/30 ,  C30B 29/06 502

FI (3件)：

C30B 15/06 ,  C30B 15/30 ,  C30B 29/06 502 F

Fターム (5件)：

4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF03 ,  4G077EG29 ,  4G077PG01

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭58-049688
  
• 特開昭59-097593