特許

J-GLOBAL ID：200903068840801380

DLC被膜、およびDLC被膜被覆工具

発明者： 杉田 博昭
出願人/特許権者： オーエスジー株式会社
代理人 (1件)： 池田 治幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-324971
公開番号（公開出願番号）：特開2007-131893
出願日： 2005年11月09日
公開日（公表日）： 2007年05月31日
要約：

【課題】溶着性の高い被削材に対してエアブローで切削加工を行う場合でも実用上満足できる工具寿命が得られるDLC被膜を提供する。【解決手段】DLC被膜20は、実質的に水素を含まないベース層22と所定量の水素を含む表皮層24との2層構造を成しており、ベース層22により優れた耐摩耗性が得られるとともに表皮層24により摩擦係数が小さくされ、優れた耐溶着性(潤滑性)が得られるようになる。これにより、アルミニウム合金等の溶着性の高い被削材に対してエアブローで切削加工を行う場合でも、溶着が抑制されて工具寿命が向上する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

所定の部材の表面に設けられるDLC被膜であって、 実質的に水素を含まないベース層と、該ベース層の上に設けられるとともに2原子%〜20原子%の範囲内で水素を含む水素含有層との2層構造を成している ことを特徴とするDLC被膜。

IPC (5件)：

C23C 14/06 ,  B23B 27/14 ,  B23C 5/16 ,  B23B 51/00 ,  C23C 14/34

FI (5件)：

C23C14/06 F ,  B23B27/14 A ,  B23C5/16 ,  B23B51/00 J ,  C23C14/34 A

Fターム (16件)：

3C037CC02 ,  3C037CC04 ,  3C046FF02 ,  3C046FF12 ,  3C046HH08 ,  4K029BA34 ,  4K029BC02 ,  4K029BD05 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029CA06 ,  4K029DC02 ,  4K029DC03 ,  4K029EA01 ,  4K029EA04 ,  4K029EA05

引用特許：

出願人引用 (3件)

• DLC被覆工具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-407940   出願人：住友電工ハードメタル株式会社
• 非晶質カーボン被覆工具およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-169117   出願人：住友電気工業株式会社, 日新電機株式会社, 日本アイ・ティ・エフ株式会社
• 情報記録再生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-350637   出願人：株式会社半導体エネルギー研究所

審査官引用 (2件)

• 非晶質炭素被膜の形成装置及び形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-273287   出願人：住友電気工業株式会社
• 低摩耗性と優れた密着性を有する複合ダイヤモンドライクカーボン皮膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-310437   出願人：株式会社リケン