特許

J-GLOBAL ID：200903068849522760

レーザ加工装置

発明者： 梶川 敏和
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： ▲柳▼川 信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-304235
公開番号（公開出願番号）：特開平5-115991
出願日： 1991年10月23日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：

【要約】【目的】 微細加工性能を上げるとともに、観察画像の正確な色調を得る。【構成】 可視レーザ光源8から出射されたレーザ光はビームエキスパンダ9で拡大され、ミラー駆動機構6によって光路中に挿入されたレーザ導入ミラー7で全反射された後に、対物レンズ11によって加工面12上に集光される。加工面12で反射したレーザ光の一部はレーザ導入ミラー7を透過し、結像レンズ10を介してTVカメラ2に入射される。TVカメラ2は入射した加工面像を画像処理装置3に出力し、画像処理装置3でTVカメラ2からの加工面像と観察時に画像メモリ4上にストアした画像とを合成してTVモニタ5上に表示する。

請求項（抜粋）：

観察光学系を介してモニタ光を照射して前記被加工物の加工面の観察を行い、加工光学系を介してレーザ光を照射して前記被加工物の加工を行うレーザ加工装置であって、前記レーザ光を全反射して前記被加工物上に照射するレーザ導入ミラーと、前記被加工物に対する加工の有無に応じて前記レーザ導入ミラーの前記レーザ光の光軸上への移動を行う移動手段と、前記モニタ光の照射によって前記観察光学系から得た前記加工面の画像データを保持する保持手段と、前記被加工物の加工時に前記移動手段によって前記光軸上に移動された前記レーザ導入ミラーと前記観察光学系とを介して得た前記加工面の画像データと前記保持手段に保持された画像データとを合成して表示する手段とを設けたことを特徴とするレーザ加工装置。