特許
J-GLOBAL ID：200903068850539676
光回路の製造方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-321526
公開番号（公開出願番号）：特開平5-136491
出願日： 1991年11月11日
公開日（公表日）： 1993年06月01日
要約：
【要約】【目的】 高効率で動作する導波型の光増幅器およびレーザを実現する。【構成】 Si基板4上に形成した下部クラッド層膜6の上にマスク5を設け、しかる後無添加コア層用スート7を堆積してマスク5を取り去り、透明化してコア層用ガラス膜8を作製し、さらに同じSi基板4上で前記ガラス膜8とは反対側にマスク5aを設置し、無添加コア層用スート7とは異なる組成のEr添加コア層用スート9を堆積してマスク5aを取り除き、透明化してEr添加コア膜を作製することで同一基板上に異なる組成の二種類のコア膜を形成し、さらにパターン化およびエッチングにより矩形のコア部を加工し、上部クラッド層膜12を形成してスート7、9を埋め込む。
請求項（抜粋）：
平面基板上に屈折率の低い下部クラッド層膜を形成し、この下部クラッド層膜上に希土類イオンを添加した屈折率の高いコア層膜を作製し、パターン化およびエッチングによりこのコア層膜を矩形のコア部に加工し、さらに、コア部より屈折率の低い上部クラッド層膜を形成して埋め込む光回路の製造方法において、前記平面基板上に形成した下部クラッド層膜の上にマスクを設け、第1のスートを堆積してマスクを取り去り、透明化して第1のコア膜を作製し、さらに同じ基板上で前記第1のコア膜とは反対側にマスクを設置し、第1のスートとは異なる組成の第2のスートを堆積してマスクを取り除き、透明化して第2のコア膜を作製することで同一基板上に異なる組成の二種類のコア膜を形成し、しかる後パターン化およびエッチングにより矩形のコア部を加工し、上部クラッド層膜を形成して埋め込むことを特徴とする光回路の製造方法。
IPC (4件)：
H01S 3/07
, G02B 6/12
, G02F 1/35 501
, H01S 3/094
