特許
J-GLOBAL ID:200903068868806531
テープ
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-149324
公開番号(公開出願番号):特開2001-329236
出願日: 2000年05月22日
公開日(公表日): 2001年11月27日
要約:
【要約】【課題】新規なテープを提供する。【解決手段】本発明のテープは、臨界表面張力が3×10-2N/m以下の樹脂層を片面に、もう一方の面に粘着剤層を有するテープである。本テープは臨界表面張力が3×10-2N/m以下である樹脂層を有するので、本テープを積層して、粘着剤層を直接その樹脂層に重ねても粘着することなく、容易に剥がして使用に供することができる。このテープは半導体ウエハプロセステープとして、半導体ウエハを加工するあらゆる分野に好適に使用することができる。
請求項(抜粋):
臨界表面張力が3×10-2N/m以下の樹脂層を片面に、もう一方の面に粘着剤層を有するテープ。
IPC (3件):
C09J 7/02
, B32B 27/00
, B32B 27/30
FI (3件):
C09J 7/02 Z
, B32B 27/00 M
, B32B 27/30 D
Fターム (36件):
4F100AK01A
, 4F100AK15
, 4F100AK17A
, 4F100AK18
, 4F100AK25B
, 4F100AK25J
, 4F100AK25K
, 4F100AL01B
, 4F100AR00B
, 4F100AT00C
, 4F100BA03
, 4F100BA07
, 4F100BA10A
, 4F100BA10B
, 4F100CB00
, 4F100DJ06
, 4F100GB90
, 4F100JA20A
, 4F100JL13B
, 4F100JL14
, 4F100YY00A
, 4J004AA04
, 4J004AA05
, 4J004AA10
, 4J004AB01
, 4J004CA04
, 4J004CA05
, 4J004CA06
, 4J004CC02
, 4J004CC03
, 4J004CE01
, 4J004DA02
, 4J004DB02
, 4J004DB03
, 4J004EA01
, 4J004FA08
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