真空加熱均熱ヒーター

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-179643
公開番号（公開出願番号）：特開平8-020868
出願日： 1994年07月06日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：

【要約】【目的】本発明の目的は半導体などの材料を加熱して加工する真空加熱ヒーターにおいて、加熱面の温度分布が均一で、且つ、ヒーター周辺の部材を冷却する冷却装置の必要がない、構造簡単で、安価で耐久性のよい真空加熱熱ヒーターを提供することにある。【構成】熱伝導のよい金属板Aとこれよりも熱伝導のよくない金属板Bを複数交互に積層して形成した金属積層板の片面に、シーズヒーター2を取り付けて真空加熱均熱ヒーターを構成した。

請求項（抜粋）：

熱伝導のよい金属板とこれより熱伝導のよくない金属板を複数交互に積層して形成した金属積層板の片面にシーズヒーターを取り付けたことを特徴とする真空加熱均熱ヒーター。

IPC (6件)：

C23C 14/50 , C23C 16/46 , H01L 21/203 , H05B 3/20 369 , H05B 3/20 398 , H05B 3/64

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