X線反射用ミラー

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-103131
公開番号（公開出願番号）：特開平6-308294
出願日： 1993年04月28日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：

【要約】【構成】X線露光装置、X線顕微鏡においてシンクロトロン放射光等の高強度の光を反射させるX線反射用ミラーにおいて、その基体1を窒化アルミニウム質セラミックスで形成し、その表面に表面平滑膜2および反射膜3を形成する。【効果】基体1として高熱伝導率、高融点の窒化アルミニウム質セラミックスを用いているため反射面の平坦度を長期にわたって維持することができ、X線反射用ミラーとしての耐久性、信頼性を向上させることができる。

請求項（抜粋）：

X線を反射させるミラーにおいて、基体を窒化アルミニウム質セラミックスで形成するとともに、この基体上に表面平滑膜および反射膜を備えてなるX線反射用ミラー。

IPC (4件)：

G21K 1/06 , C04B 35/58 104 , G03F 7/20 503 , H01L 21/027

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