特許
J-GLOBAL ID：200903068872744265
ウェハ検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
鈴江 武彦
, 村松 貞男
, 坪井 淳
, 河野 哲
, 風間 鉄也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-338318
公開番号（公開出願番号）：特開2004-172480
出願日： 2002年11月21日
公開日（公表日）： 2004年06月17日
要約：
【課題】フットプリントの増大を招くことのない効率的な構成を実現できるとともに、精度の高いウェハ検査を行うことができるウェハ検査装置を提供する。【解決手段】カセット部2と、顕微鏡6およびウェハ10移動させるXYステージ7を有するウェハ検査部3を備え、カセット部2は、ウェハ10を保持するカセット4とエレベータ装置5を有し、ウェハ検査部3は、XYステージ7上にカセット4の開口方向に直線移動可能で、カセット4内のウェハ10の間に挿入可能なアーム片181,182によりウェハ10を出し入れする搬送アーム18、XYステージ7上に垂直方向に移動可能で、垂直方向の移動により搬送アーム18に対するウェハの受け渡しを行うウェハ回転載置台22を有し、ウェハ10の中心をウェハ回転載置台22の回転中心に合致させるセンタリングとウェハのオリエンテーションを検出する機能を有する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
ウェハを収容するカセット部と、ウェハ面を観察する光学観察手段および該光学観察手段に対してウェハを直交する2方向に移動させるステージを有するウェハ検査部とを備え、
前記カセット部は、
ウェハを積層方向に多数保持するカセットと、該カセットを前記ウェハの積層方向に移動させるエレベータ手段と、を具備し、
前記ウェハ検査部は、
前記ステージ上に、前記カセットの開口方向に直線移動可能に設けられるとともに、前記カセット内のウェハの間に挿入可能なウェハ保持部を有し、該ウェハ保持部に保持されたウェハを前記カセットから出し入れするため搬送する搬送手段と、
前記ステージ上に、前記搬送手段の下方から上方まで垂直方向に移動可能に設けられ、前記垂直方向の移動により前記搬送手段に対する前記ウェハの受け渡しを可能にしたウェハ回転載置台と、
前記ウェハの中心を前記ウェハ回転載置台の回転中心に合致させるセンタリング手段と、
前記ウェハ回転載置台に載置されたウェハのオリエンテーションを検出する検出手段と、を具備したことを特徴とするウェハ検査装置。
IPC (4件)：
H01L21/66
, G01N21/84
, G01N21/956
, H01L21/68
H01L21/66 J
, G01N21/84 C
, G01N21/956 A
, H01L21/68 M
2G051AA51
, 2G051CA11
, 2G051CB01
, 2G051CC09
, 2G051DA06
, 2G051DA07
, 2G051DA08
, 4M106AA01
, 4M106BA10
, 4M106CA38
, 4M106DB18
, 4M106DJ03
, 4M106DJ40
, 5F031CA02
, 5F031JA34
, 5F031JA40
, 5F031KA11
, 5F031MA33
