特許

J-GLOBAL ID：200903068873102860

光トラッププローブ近接場光顕微鏡装置及び近接場光検出方法

発明者： 伊藤 泉
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 小島 俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-421773
公開番号（公開出願番号）：特開2005-181085
出願日： 2003年12月19日
公開日（公表日）： 2005年07月07日
要約：

【課題】 本発明は、光トラッププローブを安定的に捕捉でき、かつ検出される近接場光検出信号において高いS/Nを得ることを可能とする光トラッププローブ近接場光学顕微鏡装置及び近接場光検出方法を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明の光トラッププローブ近接場光学顕微鏡装置は、誘電体微小構造物(16)の表面の全体もしくは一部に金属部材(17)を設けた光トラッププローブ(15)を用い、光トラッププローブを集光光束により捕捉した上で位置走査し被検体の表面に近接させ、集光光束が光トラッププローブと被検体の表面の双方により散乱されて発生する散乱光を、あるいは被検体を通過した一部の散乱光を検出する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

誘電体微小構造物の表面の全体もしくは一部に金属部材を設けた光トラッププローブと、 該光トラッププローブを捕捉するためにレーザ光の集光光束を発生する集光光束発生手段と、 該集光光束手段による前記集光光束によって前記光トラッププローブを捕捉した状態で、被検体の表面に近接させる光トラッププローブ走査手段と、 前記集光光束が前記光トラッププローブと被検体の表面の双方により散乱されて発生する散乱光を、あるいは被検体を通過した一部の散乱光を検出する散乱光検出手段と を有することを特徴とする光トラッププローブ近接場光顕微鏡装置。

IPC (4件)：

G01N13/14 ,  G01B11/30 ,  G02B21/06 ,  G02B21/32

FI (5件)：

G01N13/14 A ,  G01N13/14 B ,  G01B11/30 Z ,  G02B21/06 ,  G02B21/32

Fターム (26件)：

2F065AA49 ,  2F065BB07 ,  2F065DD04 ,  2F065FF41 ,  2F065GG04 ,  2F065GG17 ,  2F065GG23 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ09 ,  2F065LL13 ,  2F065LL20 ,  2F065LL22 ,  2F065LL30 ,  2F065LL46 ,  2F065MM16 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2H052AA00 ,  2H052AA07 ,  2H052AC04 ,  2H052AC34 ,  2H052AD05 ,  2H052AD18 ,  2H052AD31 ,  2H052AF19

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 走査型近接場光学顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-205178   出願人：オリンパス光学工業株式会社