特許
J-GLOBAL ID：200903068881156155
光イオン化質量分析装置および分析法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-229122
公開番号（公開出願番号）：特開平11-064291
出願日： 1997年08月26日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：
【要約】【課題】光イオン化質量分析におけるバックグラウンドを正しく評価して、分析目的元素の濃度を高精度に分析する。【解決手段】パルスイオンビームのパルス1の照射ごとに、パルスレーザビームの複数のパルス2,3,4,5を別々のタイミングで照射し、各レーザパルスの照射ごとに光イオンを計数する。
請求項（抜粋）：
荷電粒子線あるいは光を試料に照射することによって生成する中性粒子にレーザ装置からのパルスレーザビームを照射してその中性粒子をイオン化し、生成するイオンを質量分析計に導き質量分析する光イオン化質量分析装置において、上記荷電粒子線あるいは光の照射ごとに、上記パルスレーザビームの複数のパルスが異なるタイミングで照射され、照射されたパルスレーザビームのパルスそれぞれによって生成され質量分析計に検出されたイオンを計数する機能を備えたことを特徴とする光イオン化質量分析装置。
IPC (4件)：
G01N 27/64
, G01N 23/225
, G01N 27/62
, H01J 49/10
G01N 27/64 B
, G01N 23/225
, G01N 27/62 B
, H01J 49/10
