特許

J-GLOBAL ID：200903068882931160

感放射線性樹脂組成物

発明者： 西村 幸生 ,  石井 寛之 ,  山本 將史 ,  西村 功 ,  小林 英一
出願人/特許権者： JSR株式会社
代理人 (1件)： 和気 操
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-151225
公開番号（公開出願番号）：特開2003-345020
出願日： 2002年05月24日
公開日（公表日）： 2003年12月03日
要約：

【要約】【課題】 短波長の放射線に対する透明性が高く、現像液に対する溶解性に優れ、感度、パターン形状、エッチング耐性に優れる。【解決手段】 酸の作用によりアルカリに対する溶解性を増加させる官能基を有する樹脂と、感放射線性酸発生剤とを含有する感放射線性樹脂組成物であって、上記樹脂は、下記式(1)で表される繰り返し単位を有することを特徴とする。【化1】(式(1)において、Rは相互に独立して水素原子、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数1〜4のパーフロロアルキル基を示し、R1は炭化水素基または酸素含有炭化水素基を示し、nは0または1であり、mは1または2である。)

請求項（抜粋）：

酸の作用によりアルカリに対する溶解性を増加させる官能基を有する樹脂と、感放射線性酸発生剤とを含有する感放射線性樹脂組成物であって、前記樹脂は、下記式(1)で表される繰り返し単位を有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】(式(1)において、Rは相互に独立して水素原子、フッ素原子、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数1〜4のフッ素原子含有アルキル基を示し、R1は炭化水素基または酸素含有炭化水素基を示し、nは0または1であり、mは1または2である。)

IPC (3件)：

G03F 7/039 601 ,  C08F 32/08 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/039 601 ,  C08F 32/08 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (44件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025FA17 ,  4J100AK32R ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08S ,  4J100AL08T ,  4J100AR09P ,  4J100AR11P ,  4J100AR11Q ,  4J100BA03Q ,  4J100BA05P ,  4J100BA06P ,  4J100BA11P ,  4J100BA11S ,  4J100BA15P ,  4J100BA15Q ,  4J100BC03Q ,  4J100BC03T ,  4J100BC09P ,  4J100BC09Q ,  4J100BC53P ,  4J100BC53S ,  4J100CA03 ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100FA03 ,  4J100FA19 ,  4J100JA38