特許
J-GLOBAL ID：200903068889303920
カンチレバー及びこれを用いた加熱装置、並びにこれを用いた加熱・形状計測装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-022079
公開番号（公開出願番号）：特開平8-327635
出願日： 1996年01月12日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：
【要約】【課題】 試料の原子、分子オーダーの微小領域を局所的に所望の温度に加熱可能とする。【解決手段】 カンチレバーは、支持体1と、支持体1に一端が支持された可撓性プレート2と、可撓性プレート2の先端側領域に設けられた探針3と、を備える。このカンチレバーは、探針3の先端部を加熱する発熱体4と、探針3に設けられた熱電対とを更に有する。
請求項（抜粋）：
支持体と、該支持体に一端が支持された可撓性プレートと、該可撓性プレートの先端側領域に設けられた探針と、を備えたカンチレバーにおいて、前記探針の先端部を加熱する発熱体を設け、前記探針に熱電対を設けたことを特徴とするカンチレバー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 A
, G01B 21/30 Z
