特許
J-GLOBAL ID：200903068895251762
プラズマ蒸着システム用スロット付RFコイル
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-314821
公開番号（公開出願番号）：特開平10-018043
出願日： 1996年11月26日
公開日（公表日）： 1998年01月20日
要約：
【要約】【課題】 コイルの内部に配置された第1シールドを備えたプラズマ処理システムのRF磁界コイルのためのコイルシールド組立体を提供する。【解決手段】 第1シールドはプラズマが維持される処理チャンバの中央部空間をほぼ取り囲む中央部開口を有している。少なくとも1つの少なくとも1つのスロットが前記第1シールド内に形成されており、これを介して延びている。バリヤは、前記第1シールドとコイルとの間に位置しており、前記少なくとも1つのスロットの近傍の第1シールドから隔置している。スロットは、コイルからのRF信号がプラズマと結合するのを許容するそして第1シールドとバリヤは前記中央部空間からの直接通路および前記少なくとも1つのスロットを介してプラズマイオンあるいはスパッタリングされた材料がコイルをボンバードするのを防止するような構造を有し、そのように配置されている。
請求項（抜粋）：
バキュームチャンバと、前記バキュームチャンバ内の中央部空間を取り囲むRF磁界コイルであって、処理中、前記中央部空間内のプラズマにRFパワーを結合するようになったものと、前記コイルをプラズマからシールドするコイルシールド組立体であって、前記コイルシールド組立体が前記RF磁界コイル内に位置し、そこを通って延びる少なくとも1つのスロットを有する第1シールドと、前記第1シールドとコイルとの間に配置され、前記少なくとも1つのスロットと整合するバリヤ構造とを備え、前記第1シールドとバリヤ構造がプラズマ処理中前記チャンバ内に堆積した材料によって前記少なくとも1つのスロットがブリッジを生じることを抑制するような構造を有しかつそのように配置されていることを特徴とするプラズマ処理システム。
IPC (7件)：
C23C 16/50
, C23C 14/34
, H01L 21/203
, H01L 21/285
, H05H 1/46
, H01L 21/205
, H01L 21/31
C23C 16/50
, C23C 14/34 T
, H01L 21/203 S
, H01L 21/285 S
, H05H 1/46 L
, H01L 21/205
, H01L 21/31 C
