特許
J-GLOBAL ID：200903068896057315

エキシマランプおよびエキシマ発光装置

発明者：
中村 勝

中村 勝 について


出願人/特許権者：
クォークシステムズ株式会社

クォークシステムズ株式会社 について

, 
株式会社渡邊商行

株式会社渡邊商行 について


代理人 (1件)： 石川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-127195
公開番号（公開出願番号）：特開平11-329365
出願日： 1998年05月11日
公開日（公表日）： 1999年11月30日
要約：
【要約】【課題】 簡単且つ安全な方法で内部管を冷却することができるエキシマランプおよびかかるエキシマランプを用いたエキシマ発光装置を提供する。【解決手段】 光透過性に優れた誘電体からなる放電容器2と、放電容器2の内側に配置された内部管3と、放電容器2の外側に配置された外部電極4と、内部管3の内側に配置された内部電極5と、放電容器2内に充填された放電用の封入ガス6とを備え、外部電極2と内部電極5との間に高周波電圧が印加されることによってエキシマが形成されるエキシマランプ1であって、内部管3を、内部管3内に導入される窒素ガス7によって冷却することにより、上記課題を解決する。特に効率よく冷却するために、内部管3の内径dと内部電極5の外径Dとの比(d/D)を1.1以上3.0以下とし、内部電極5の長さLと内部電極5の外径との比(L/D)を10以上30未満とすることが好ましい。
請求項（抜粋）：
光透過性に優れた誘電体からなる放電容器と、該放電容器の内側に配置された内部管と、前記放電容器の外側に配置された外部電極と、前記内部管の内側に配置された内部電極と、前記放電容器内に充填された放電用の封入ガスとを備え、前記外部電極と前記内部電極との間に高周波電圧が印加されることによってエキシマが形成されるエキシマランプであって、前記内部管が、該内部管内に導入される窒素ガスによって冷却されることを特徴とするエキシマランプ。
IPC (3件)：
H01J 65/00 ,  F21V 29/00 ,  H01J 61/52
FI (3件)：
H01J 65/00 A ,  F21V 29/00 A ,  H01J 61/52 N
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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