発光デバイス及び光検出器のモノリシック集積化システム及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：加藤公久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-339413
公開番号（公開出願番号）：特開2000-183444
出願日： 1999年11月30日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】【課題】低バイアス電圧を用いて動作して発光デバイスと光検出器とを分離し、光検出器によって検出される自然放出光の量を最小限に抑える発光デバイスと光検出器のモノリシック集積化の構成及びその製造方法を提供すること。【解決手段】レーザの出力を測定するためのシステムであって、VCSEL等のレーザ(120)とフォトダイオード等の光検出器(110)とが集積化されて構成される。レーザ(120)の屈折率構造及び光検出器(110)の屈折率構造の両方が有する屈折率よりも小さい屈折率を備えた連続絶縁層(115)が含まれ、これによって光学的特性を劣化させることなく電気的分離が実現される。連続絶縁層(115)は自然酸化膜によって形成される。

請求項（抜粋）：

レーザの出力を測定するためのシステムであって、レーザ屈折率構造を備えたレーザと、光検出器屈折率構造を備えた光検出器と、前記レーザ屈折率構造と前記光検出器屈折率構造の両方が有する屈折率よりも小さい屈折率を備えた連続絶縁層が含まれていることを特徴とする、システム。

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