特許
J-GLOBAL ID:200903068914582902

基板支承用側板およびそれを用いたカセット

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 大石 征郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-197325
公開番号(公開出願番号):特開平8-046022
出願日: 1994年07月29日
公開日(公表日): 1996年02月16日
要約:
【要約】【目的】 基板支承用側板の巾を狭くしても必要な強度を有し、しかも基板取り扱い時の帯電を有効に防止すると共に、たとえ帯電しても回路障害を起こすことがなく、さらには基板との摩擦によっても摩耗粉などの塵埃を生じがたいカセット、およびそのための基板支承用側板を提供することを目的とする。【構成】 基板支承用側板(2) は、構造的には、背肉部(21)から舌状の棚片(22)が所定のピッチで平行に張り出し、その棚片(22)はその遊端側にいくほど上方になるように傾斜し、その棚片(22)の棚面はその両端側よりも中央部が若干高くなるような山形構造に形成される。また材質的には、金属体(M) を骨格材としかつ背肉部(21)の少なくとも前面側および棚片(22)が樹脂体(R) で形成され、かつその樹脂体(R) のうち基板(O) との接当部の少なくとも一部は発塵防止性樹脂(Rb)で形成されると共に、樹脂体(R) の発塵防止性樹脂(Rb)以外の部分は導電性物質配合樹脂(Ra)で形成される。
請求項(抜粋):
フレーム(1) に架設して基板(O) を支承するための基板支承用側板(2) であって、該基板支承用側板(2) が、構造的には、背肉部(21)から舌状の棚片(22)が所定のピッチでカセット内部側に向けて平行に張り出し、その棚片(22)はその遊端側にいくほど上方になるように傾斜し、その棚片(22)の棚面はその両端側よりも中央部が若干高くなるような山形構造に形成され、材質的には、金属体(M) を骨格材としかつ背肉部(21)の少なくとも前面側および棚片(22)が樹脂体(R) で形成され、かつその樹脂体(R) のうち基板(O) との接当部の少なくとも一部は発塵防止性樹脂(Rb)で形成されると共に、樹脂体(R) の発塵防止性樹脂(Rb)以外の部分は導電性物質配合樹脂(Ra)で形成されていること、を特徴とする基板支承用側板。
IPC (2件):
H01L 21/68 ,  B65D 85/86

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