特許
J-GLOBAL ID:200903068914632128
セラミックス発熱体
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
松崎 清
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-008581
公開番号(公開出願番号):特開平8-198680
出願日: 1995年01月24日
公開日(公表日): 1996年08月06日
要約:
【要約】【目的】 珪化モリブデンの耐酸化性を生かしつつ高温強度を確保し、微小化を可能として長寿命化,低消費電力化を可能とする。【構成】 複合セラミックス材にて発熱部1を形成し、その両端に電極部2a,2bを設けるとともに、複合セラミックス材として炭化珪素(SiC)のウイスカーが3〜40容量%で、残りが実質的に二珪化モリブデン(MoSi2 )からなるものを用いる。
請求項(抜粋):
複合セラミックス材にて発熱部を形成するとともに、その両端に電極部を設けてなるセラミックス発熱体において、前記複合セラミックス材として、SiCウイスカーが3〜40容量%で残部が実質的にMoSi2 からなる複合セラミックスを用いたことを特徴とするセラミックス発熱体。
IPC (3件):
C04B 35/58 106
, H01L 33/00
, H05B 3/14
引用特許:
審査官引用 (2件)
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特開昭62-230675
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特開昭63-252973
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