特許
J-GLOBAL ID：200903068926890793
誘導結合プラズマ発生装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-159470
公開番号（公開出願番号）：特開平7-012729
出願日： 1993年06月29日
公開日（公表日）： 1995年01月17日
要約：
【要約】【目的】プラズマ点火時,プラズマ点火後のインピ-ダンスマッチングを容易にすることにより、プラズマ点火時の反射波を小さくし、前記反射波に対する大きい耐力の必要がなく、かつ、安価なトランジスタ方式の高周波電源を備え、プラズマ点火後の高周波電力の損失が少なく、効率のよいICPを提供する。【構成】 高周波電源1は、方向性結合器2を通して、インピ-ダンスマッチング回路3と同軸ケ-ブル8にて接続し、出力コイル7は、ト-チ6を内包し、インピ-ダンスマッチング回路3の出力端に接続される。前記インピ-ダンスマッチング回路3は、コンデンサC1,C2を逆L字形に構成し、かつ、サ-ミスタ抵抗体11を出力コイル7に直列になるように接続する。前記サ-ミスタ抵抗体11の抵抗は、プラズマ点火時大となり、プラズマ点火後小となり、両時におけるインピ-ダンスマッチングが容易となる。
請求項（抜粋）：
高周波電源部と、出力コイルを有するプラズマ生成部と、インピ-ダンスマッチング部とからなる誘導結合プラズマ発生装置において、前記インピ-ダンスマッチング部は、プラズマ点火時の高周波反射電力が小さくなるようにし、プラズマ点火後の高周波電力損失が小さくなるように構成したことを特徴とする誘導結合プラズマ発生装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
