特許

J-GLOBAL ID：200903068942272757

共形な絶縁体フィルムを有する静電チャック

発明者： シャモウイリアン,シャモウイル ,  ソメクー,サッソン ,  レビンステイン,ハイマン ,  ビラン,マヌーシャー ,  シャーステインスキー,セミヨン ,  キャメロン,ジョン エフ.
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-520253
公開番号（公開出願番号）：特表平8-507196
出願日： 1995年01月31日
公開日（公表日）： 1996年07月30日
要約：

【要約】基板(75)を保持する静電チャック(20)は、(i)そこにグルーブ(85)をもつ上面(95)を有するベース(80)、ここでグルーブ(85)は、基板(75)を冷却するためのクーラントを保持するように、サイズを与えられ分布されている、ベースと、(ii)ベース(80)の上面(95)上のグルーブ(85)に適合する、実質的に連続な絶縁体フィルム(45)とを備える。ベース(80)は、電気的伝導性を有しチャック(20)の電極(50)として作用することが可能でもよく、又は、電極(50)は絶縁体フィルム(45)に埋め込まれていてもよい。基板(75)がチャック(20)上に置かれて電極(50)に対してバイアスがかけられたとき、静電荷が基板(75)及び電極(50)に蓄積されて、基板(75)をチャック(20)に吸引して保持する静電力を形成することが可能なように、絶縁体フィルム(45)は充分に強い誘電破壊強度を有している。好ましくは、チャック(20)は圧力形成プロセスを用いて作製され、更に好ましくは、圧力差プロセスを用いて作製される。

請求項（抜粋）：

基板を保持し実質的に均一に冷却する静電チャックであって: (a)チャック上に保持された基板を冷却するクーラントを保持するためにサイズが与えられ配分される、間隔をおいたグルーブをもつ上面を有するベースと、 (b)ベースの上面の上のグルーブに適合する、実質的に連続的な電気絶縁体とを備える静電チャック。

IPC (3件)：

H02N 13/00 ,  B23Q 3/15 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特許第473930号
  
• 凹面シートカバー構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-261208   出願人：アラコ株式会社