特許

J-GLOBAL ID：200903068943630258

半導体検査システム及び方法並びに検査システム用プログラムを記録した記録媒体

発明者： 浜田 弘幸
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 加藤 朝道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-294506
公開番号（公開出願番号）：特開2001-118396
出願日： 1999年10月15日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：

【要約】【課題】複数のアドレス間の変換コードを自動生成する半導体検査システム及び方法並びに記録媒体の提供。【解決手段】検査対象のメモリに対して、前記メモリの検査を行う試験システムで扱う複数種のアドレスを相互に変換するアドレス変換情報生成システムであって、二通りのアドレスについて一方のアドレスから他方のアドレスへの一方向の変換関係を規定する変換コードから、前記他方のアドレスから前記一方のアドレスへの逆方向の変換情報を生成する変換コード自動生成手段を備える。

請求項（抜粋）：

メモリを有する半導体装置の検査を行うシステムにおいて、前記メモリの1つのビットを表現するアドレスとして少なくとも第1、第2のアドレスの2通りを有し、前記第1、第2のアドレスのアドレス間の変換を規定するとともに、前記メモリの各ビットに対して適用されるアドレス変換コードとして、前記第1のアドレスから前記第2のアドレスへの変換、及び、前記第2アドレスから前記第1のアドレスへの変換の両方向のアドレス変換コードを有し、前記第1、第2のアドレスのうちの一方のアドレスから他方のアドレスへの変換を規定する一方向変換関係記述手段を用いて、前記他方のアドレスから前記一方のアドレスへ逆方向のアドレス変換コードを自動生成する手段を含む、ことを特徴とする半導体検査システム。

IPC (2件)：

G11C 29/00 657 ,  G01R 31/28

FI (3件)：

G11C 29/00 657 T ,  G01R 31/28 B ,  G01R 31/28 H

Fターム (9件)：

2G032AA07 ,  2G032AE10 ,  2G032AE12 ,  5L106AA01 ,  5L106AA02 ,  5L106DD23 ,  9A001GG01 ,  9A001JJ45 ,  9A001KK54