特許
J-GLOBAL ID：200903068946248664
光周波数領域反射測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 精孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-279559
公開番号（公開出願番号）：特開平5-118954
出願日： 1991年10月25日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：
【要約】【目的】 フェーディングによる信号値の揺らぎを小さくする。【構成】 レーザ光源とその周波数制御部とを有する光源系1と、レーザ光を測定光と参照光とに分岐する第1の光分岐手段2と、入射測定光と被測定物体7内で反射された反射光とを分岐する第2の光分岐手段3と、参照光を局発光として反射光をコヒーレント検波するヘテロダインレシーバ4と、ヘテロダインレシーバ4の出力を入力とするスペクトラムアナライザ5と、スペクトラムアナライザ5の出力を複数回の測定に亘って加算平均化処理する信号処理系6とを備えた光周波数領域反射測定装置において、レ-ザ光源の周波数を、周期T1で一定の基準周波数F0を下限とした周波数可変範囲F1の鋸歯波形状に制御するとともに、当該基準周波数F0を繰り返し毎に変化させ、または当該鋸歯状波形の位相を任意に変化させるようにした。
請求項（抜粋）：
時間に対して任意に周波数の制御が可能なレーザ光源と、周期T1で一定の基準周波数F0を下限とした周波数可変範囲F1の鋸歯波形状に前記レーザ光源の周波数を制御するとともに、当該基準周波数F0を繰り返し毎に変化させる、または当該鋸歯状波形の位相を任意に変化させる周波数制御部とを有する光源系と、前記レーザ光源の出射光を測定光と参照光とに分岐する第1の光分岐手段と、被測定物体に入射する測定光と当該測定物体内で反射された反射光とを分岐する第2の光分岐手段と、前記参照光を局発光として前記反射光をコヒーレント検波するヘテロダインレシーバと、前記ヘテロダインレシーバの出力を入力とするスペクトラムアナライザと、前記スペクトラムアナライザの出力を複数回の測定に亘って加算平均化処理する信号処理系とを備えたことを特徴とする光周波数領域反射測定装置。
IPC (5件)：
G01M 11/00
, G01D 5/26
, G01J 9/04
, G01M 11/02
, H01S 3/00
