特許

J-GLOBAL ID：200903068946307997

圧電薄膜振動子

発明者： 山田 朗 ,  前田 智佐子 ,  梅村 敏夫 ,  内川 英興
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-081085
公開番号（公開出願番号）：特開平11-284480
出願日： 1998年03月27日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：

【要約】【課題】 短い時間でかつ簡便に周波数調整することができる構造を有し、安価に製造できる圧電薄膜素子を提供する。【解決手段】 一対の励振用電極の間に圧電体薄膜を備えた圧電薄膜振動子において、一対の励振用電極の間にさらに第1誘電体薄膜を設け、圧電体薄膜の厚さと第1誘電体薄膜の厚さとを合わせた厚さに対応した周波数で共振させた。

請求項（抜粋）：

一対の励振用電極の間に圧電体薄膜を備えた圧電薄膜振動子において、上記一対の励振用電極の間にさらに第1誘電体薄膜を設け、上記圧電体薄膜の厚さと上記第1誘電体薄膜の厚さとを合わせた厚さに対応した周波数で共振させたことを特徴とする圧電薄膜振動子。