特許
J-GLOBAL ID：200903068946688010
磁気抵抗読取りトランスジューサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
合田 潔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-038812
公開番号（公開出願番号）：特開平6-334237
出願日： 1994年03月09日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：
【要約】【目的】 高い分解能と絶縁信頼性を兼ね備えた磁気抵抗(MR)読取りヘッドを提供すること。【構成】 MR読取りトランスジューサは、誘電体基板12上の第1の磁気シールドS1、第1の間隙絶縁層G1、MR素子14、導電性リード16、第2の間隙絶縁層G2、及び第2の磁気シールドS2から構成される。高い分解能のMRヘッドを作製するために、絶縁材料のバックフィル(back-fill)層20、22が第1の間隙絶縁層及び/又は第2の間隙絶縁層の上に蒸着される。その厚さは、処理過程において除去された絶縁材料の少なくとも一部に置換わるために十分な厚さであり、それによってMR素子の短絡を確実に防ぐ。MR層は、好適には3層構造であり、軟磁性MRセンサ層と、素子の長手方向に垂直に固定された磁化を有する軟磁性又は硬磁性層と、これら2つの層を分離するスペーサ層とからなる。
請求項（抜粋）：
磁気シールド層と、前記磁気シールド層に接する間隙絶縁層と、前記間隙絶縁層上のパターン化されたMR素子と、前記MR素子に接する1対の導電性リードと、前記MR素子が不十分な絶縁材料のために前記シールド層へ短絡されないよう、前記MR素子のパターン化過程中に前記間隙絶縁層から除去された絶縁材料に置換えるために前記間隙絶縁層と前記MR素子外側の導電性リードとの間に挿置された絶縁材料によるバックフィル層とを基板上に有する、磁気抵抗(MR)読取りトランスジューサ。
IPC (4件)：
H01L 43/08
, G01R 33/06
, G11B 5/39
, H01L 43/12
