フォトレジスト用積層ポリエステルフィルム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-132000
公開番号（公開出願番号）：特開平7-333853
出願日： 1994年06月14日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：

【要約】【目的】解像度に優れ、画像の欠陥発生を防止する高品質なフォトレジスト用二軸配向積層ポリエステルフィルムを提供する。【構成】少なくとも片側の最表層に平均粒径0.01〜3.0μmの粒子を含有する二軸配向積層ポリエステルフィルムであって、当該最表層表面のRaが0.005μm以上、Rtが1.5μm未満であり、かつフィルムヘーズが1.5%以下であることを特徴とするフォトレジスト用積層ポリエステルフィルム。

請求項（抜粋）：

少なくとも片側の最表層に平均粒径0.01〜3.0μmの粒子を含有する二軸配向積層ポリエステルフィルムであって、当該最表層表面のRaが0.005μm以上、Rtが1.5μm未満であり、かつフィルムヘーズが1.5%以下であることを特徴とするフォトレジスト用積層ポリエステルフィルム。

IPC (5件)：

G03F 7/09 501 , B32B 27/36 , G03F 7/11 501 , H05K 3/00 , H05K 3/06

引用特許：

審査官引用 (8件)

特表平4-503335
特開平3-083625
特開平3-015544

全件表示

前のページに戻る