特許
J-GLOBAL ID：200903068956790254
シリコン単結晶引上げ用石英ルツボ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大家 邦久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-142560
公開番号（公開出願番号）：特開平6-329493
出願日： 1993年05月24日
公開日（公表日）： 1994年11月29日
要約：
【要約】【構成】 シリコン単結晶の引上げに用いる石英製ルツボであって、その周壁は内側部分が実質的に気泡を内在しない透明ガラス層および外側部分が気泡を内在する不透明ガラス層からなり、かつ底壁が実質的に気泡を内在しない透明ガラス層からなることを特徴とするシリコン単結晶引上げ用石英ルツボ。【効果】 底壁全体が透明ガラス層によって形成されているので、熱伝導率が格段に良く、しかも周壁外層は気泡を内在する不透明ガラス層で構成されているため効率よく単結晶の引上げができる。
請求項（抜粋）：
シリコン単結晶の引上げに用いる石英製ルツボであって、その周壁は内側部分が実質的に気泡を内在しない透明ガラス層および外側部分が気泡を内在する不透明ガラス層からなり、かつ底壁が実質的に気泡を内在しない透明ガラス層からなることを特徴とするシリコン単結晶引上げ用石英ルツボ。
IPC (3件)：
C30B 15/10
, C30B 29/06 502
, H01L 21/208
