特許
J-GLOBAL ID：200903068960874853
ウエハ移載装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 傅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-002808
公開番号（公開出願番号）：特開平5-190646
出願日： 1992年01月10日
公開日（公表日）： 1993年07月30日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 ウエハを同時に複数枚、または1枚ごと移載することができるウエハ移載装置を提供する。【構成】 移載ロボット19がウエハカセットの棚からボ-トの棚へまたはその逆にウエハを移載するウエハ移載装置において、棚列方向に順次所定間隔を隔てて平行に並び共通のペンシルホルダ40で片持ち保持されたN枚の可動ペンシル22a、22b、22c、22dを備え、ア-ム21端部は、ペンシルホルダ40を進動・退避可能な駆動機構31、を収納するとともに固定ペンシル22を片持ち保持する枠体30を有し、駆動機構31、の進動時、最上段の上記可動ペンシル22aは固定ペンシル22と一定間隔を隔てる直下まで変位することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
ウエハを載置する棚を複数段備えるウエハカセットと、ウエハを載置する棚を複数段備え表面処理炉に対して搬入・搬出されるボ-トと、上記ウエハを吸着可能な固定ペンシルと、この固定ペンシルの一端側をア-ム端部で片持ち保持する移載ロボットとを備え、この移載ロボットが上記ウエハカセットの棚から上記ボ-トの棚へまたはその逆に上記ウエハを移載するウエハ移載装置において、上記棚列方向に順次所定間隔を隔てて平行に並び共通のペンシルホルダで片持ち保持されたN枚の可動ペンシルを備え、上記ア-ム端部は、上記ペンシルホルダを進動・退避可能な駆動機構を収納するとともに上記固定ペンシルを片持ち保持する枠体を有し、上記駆動機構の進動時、最上段の上記可動ペンシルは上記固定ペンシルと一定間隔を隔てる直下まで変位することを特徴とするウエハ移載装置。
IPC (2件)：
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