特許
J-GLOBAL ID：200903068963245954
半導体ウエハ固定用シート
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-170624
公開番号（公開出願番号）：特開平9-328663
出願日： 1996年06月10日
公開日（公表日）： 1997年12月22日
要約：
【要約】【課題】アクリル系粘着剤を使用した半導体固定用シートでは、汚染性(一旦粘着させた半導体ウエハを剥離すると粘着剤が該ウエハに付着する)という課題があった。また、紫外線照射されたアクリル粘着剤は硬化してしまうため、紫外線照射後のエキスパンド時にシート全体が破断してしまいチップが剥離・落下してしまうという課題があった。またさらに、紫外線等の照射によって粘着剤の粘着力を低下させ過ぎてしまい一旦粘着されたチップを無闇に脱落させてしまうという課題があった。【解決手段】基材としての紫外線透過シートと、該紫外線透過シート上に積層された粘着剤とで半導体ウエハ固定用シートの主要部を形成する。該粘着剤の主成分を、エラストマ100重量部、粘着付与樹脂5〜100重量部、硬化剤0.05〜30重量部、紫外線架橋性オリゴマ及び/又はモノマ5〜300重量部及び重合開始剤0.1〜5重量部で形成する。
請求項（抜粋）：
基材としての紫外線透過シートと、該紫外線透過シート上に積層された粘着剤とで主要部が形成される半導体ウエハ固定用シートにおいて、該粘着剤が、エラストマ100重量部、粘着付与樹脂5〜100重量部、硬化剤0.05〜30重量部、紫外線架橋性オリゴマ及び/又はモノマ5〜300重量部及び重合開始剤0.1〜5重量部を主成分とすることを特徴とする半導体ウエハ固定用シート。
IPC (7件)：
C09J 7/02 JLE
, C09J 7/02 JHR
, C09J 7/02 JJU
, C09J 7/02 JJX
, C09J 7/02 JKE
, C09J 7/02 JKF
, H01L 21/301
C09J 7/02 JLE
, C09J 7/02 JHR
, C09J 7/02 JJU
, C09J 7/02 JJX
, C09J 7/02 JKE
, C09J 7/02 JKF
, H01L 21/78 M
