特許

J-GLOBAL ID：200903068963489128

プリズムステージ

発明者： 西川 幸一郎 ,  山本 昌邦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-068453
公開番号（公開出願番号）：特開平11-264905
出願日： 1998年03月18日
公開日（公表日）： 1999年09月28日
要約：

【要約】【課題】 安定してエバネッセント光を生成するプリズムステージを提供する。【解決手段】 プリズムステージは、互いに平行な第1と第2の面を有し、第1の面上には、第1の面に平行で、かつ互いに略直交する第1の光束と第2の光束に分離する手段、及び第1、第2の光束を第2の面に全反射入射させる為の第1、第2の偏向手段を有する。また、第1の光束が第1の偏向手段を経て第2の面に至る光路が作る面と第2の光束が第2の偏向手段を経て第2の面に至る光路が作る面とが略直交する。

請求項（抜粋）：

互いに平行な第1と第2の面を有し、前記第1の面上には、該第1の面に平行で、かつ互いに略直交する第1の光束と第2の光束に分離する手段、及び前記第1、第2の光束を前記第2の面に全反射入射させる為の第1、第2の偏向手段を有することを特徴とするプリズムステージ。

IPC (4件)：

G02B 5/04 ,  G01N 21/27 ,  G02B 5/30 ,  G02B 21/06

FI (5件)：

G02B 5/04 B ,  G02B 5/04 D ,  G01N 21/27 C ,  G02B 5/30 ,  G02B 21/06