特許

J-GLOBAL ID：200903068988121990

光学式変位検出装置および検出方法

発明者： 中嶋 耕二 ,  鈴木 嚆二 ,  有永 雄司 ,  吉田 康
出願人/特許権者： 株式会社安川電機
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-191132
公開番号（公開出願番号）：特開平9-021654
出願日： 1995年07月03日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：

【要約】【目的】 小型で、かつ絶対原点を精度良く検出が可能な絶対原点検出機能を備えた光学式変位検出装置および検出方法を提供する。【構成】 第3光学格子6Bの格子ピッチPなる光学経路を介して第1受光素子9Aによって得られるP/2なる周期の変位信号と、第5光学格子のピッチ2Pなる光学経路を介して第4受光素子9Dによって検出される周期Pなる原点検出補助信号と、原点検出用ランダムパターンを介して第3受光素子9Cにより検出される原点信号との論理積から得られる信号から絶対原点を検出するものである。

請求項（抜粋）：

相対移動する一方の部材に固定され、格子ピッチPなる第1光学格子と一部にランダムパターンからなる原点検出用メイン光学格子とが形成された反射形メインスケールと、相対移動する他方の部材に固定され、拡散照明光を射出する光源と、前記光源からの照明光を通して前記メインスケールを照明する格子ピッチPの第2光学格子と、前記第2光学格子から入射した光が前記第1光学格子によって反射した反射光を通す互いに90度位相差を持つ二つの光学格子からなる格子ピッチPの第3光学格子と、前記原点検出用メイン光学格子と同一のランダムパターンよりなる原点検出用インデックス光学格子と、前記二つの第3光学格子および前記原点検出用インデックス光学格子の入射光をそれぞれ検出する第1、第2および第3受光素子とを設けたインデックススケールと、前記第3光学格子の入射光を検出する第1受光素子から変位信号を出力する変位信号処理回路と、前記原点検出用インデックス光学格子の入射光を検出する第3受光素子から原点信号を出力する原点信号処理回路とを設けた信号処理回路とを備えた光学式変位検出装置において、前記光源からの照明光を通して前記メインスケールを照明する格子ピッチ2Pの第4光学格子と、前記第4光学格子から入射した光が前記第1光学格子によって反射した反射光を通す第5光学格子と、前記第5光学格子の入射光を検出する第4受光素子とを前記インデックススケールに設け、前記第4受光素子から原点検出補助信号を出力する原点検出補助信号処理回路と、前記変位信号と前記原点信号と前記原点検出補助信号との論理積を出力する論理回路とを前記信号処理回路に設けたことを特徴とした光学式変位検出装置。

IPC (3件)：

G01D 5/36 ,  G01D 5/244 ,  G01D 5/245 102

FI (5件)：

G01D 5/36 X ,  G01D 5/36 Q ,  G01D 5/36 S ,  G01D 5/244 A ,  G01D 5/245 102 U