特許
J-GLOBAL ID：200903068990990653
微小成形体の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
恩田 博宣
, 恩田 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-206336
公開番号（公開出願番号）：特開2005-053006
出願日： 2003年08月06日
公開日（公表日）： 2005年03月03日
要約：
【課題】耐熱性の高い微小成形体を量産性よく作製可能な微小成形体の製造方法を提供する。【解決手段】ガラス基板12の表面に有機無機複合材料からなるゲル膜14を形成し、ゲル膜14に回折格子成形型11の微細な溝形状10を転写して成形構造体14Aを成形し、成形構造体14Aを600°C(350〜600°Cの範囲)で熱処理して、未反応成分などの不安定で脱離し易い成分を成形構造体14Aから除去する。作製された回折格子20を400°C以上で加熱しても、有機成分の燃焼によって脱離したガスが発生するのを抑制でき、回折格子20自体の熱分解による破損や反射膜16の破損を抑制できる。熱処理温度を600°C以下(350〜600°Cの範囲)に抑えることで、回折格子20自体の熱分解による破損が抑制される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ゾル液を脱水処理したゲル膜に成形型の微細な形状を転写して、前記微細な形状を有する成形構造体を成形し、前記成形構造体を加熱して微小成形体を作製する微小成形体の製造方法において、
前記成形構造体を、脱水縮合反応および未反応成分の脱離が起こる温度と、前記成形構造体を構成する物質の骨格構造が熱分解する温度との間の温度で熱処理する工程を備えることを特徴とする微小成形体の製造方法。
IPC (5件)：
B29C59/02
, C03C17/30
, C03C17/38
, G02B3/00
, G02B5/18
B29C59/02 Z
, C03C17/30 B
, C03C17/38
, G02B3/00 A
, G02B5/18
2H049AA07
, 2H049AA40
, 2H049AA45
, 4F209AA35
, 4F209AF01
, 4F209AG05
, 4F209AG26
, 4F209AH75
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PC01
, 4F209PC05
, 4F209PH02
, 4F209PH06
, 4F209PH27
, 4F209PJ06
, 4F209PN03
, 4F209PQ01
, 4G059AA08
, 4G059AB01
, 4G059AB09
, 4G059AC01
, 4G059FA22
, 4G059FB06
