特許
J-GLOBAL ID：200903068994747800
化学増幅型感光性組成物、画像形成材及び画像形成方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-028515
公開番号（公開出願番号）：特開2004-240120
出願日： 2003年02月05日
公開日（公表日）： 2004年08月26日
要約：
【課題】レーザー直接描画法に適し、高感度で安定した画像形成が可能な化学増幅型感光性組成物を提供する。【解決手段】(a)アルカリ可溶性樹脂、(b)光吸収剤として一般式(I)で表される化合物、及び(c)酸発生剤としてスルホン酸N-ヒドロキシイミドエステル類を含有する化学増幅型感光性組成物。【化14】(前記一般式(I)において、Q1〜Q3は、各々独立して、酸素原子又は硫黄原子を表す。R1及びR2は各々独立して、水素原子、置換されていても良い脂肪族基、置換されていても良い芳香族基、又は置換されていても良い複素環基を表す。=X(Z1)Z2は、前記一般式(I)で表される化合物が光吸収剤になる為に必要な置換基群を表す。)
請求項（抜粋）：
(a)アルカリ可溶性樹脂、(b)光吸収剤として下記一般式(I)で表される化合物、及び(c)酸発生剤として下記一般式(II)で表されるスルホン酸N-ヒドロキシイミドエステル類を含有することを特徴とする化学増幅型感光性組成物。
IPC (4件)：
G03F7/031
, G03F7/038
, G03F7/039
, H01L21/027
G03F7/031
, G03F7/038 601
, G03F7/039 601
, H01L21/30 502R
2H025AA01
, 2H025AC04
, 2H025AC08
, 2H025AD01
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BG00
, 2H025CA28
, 2H025CA41
, 2H025CB17
, 2H025CB29
, 2H025CB42
, 2H025CC20
, 2H025FA03
, 2H025FA17
