特許
J-GLOBAL ID：200903068997122533
物体の計測装置における検出データ読出し装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-310849
公開番号（公開出願番号）：特開平9-145332
出願日： 1995年11月29日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：
【要約】【課題】物体からの反射光に基づき物体の形状等を計測装置において計測精度を向上させる。【解決手段】シャッタ手段10は、被計測物体7が停止しているとき開き、光検出器アレイ9の各光検出器は、同じ位置Zにおけるオプティカルスライス観察像を光電変換によって蓄積する。そして、光検出器アレイ9の各光検出器から蓄積された電荷を読み出す間は、シャッタ手段10が閉じられるとともに被計測物体7は移動される。このため、光検出器アレイ9の各光検出器の検出データは、同じ位置Zのものとして得られ、その同じ位置の検出データを読み出すことができる。また、上記構成において、シャッタ手段10を開く代わりに、光源1を点灯させ、シャッタ手段10を閉じる代わりに、光源1を消灯させるようにしてもよい。
請求項（抜粋）：
被計測物体を所定の方向に移動させる移動手段と、光源から前記所定の方向に移動する被計測物体に向けて光を投光する投光手段と、前記被計測物体で反射された光を、複数設けられた光検出器で検出する光検出器アレイと、前記被計測物体の各移動位置毎に、前記光検出器アレイの各光検出器の検出データを読み出す読出し手段とを具え、前記読み出された各移動位置毎の検出データに基づき前記被計測物体の計測を行うようにした物体の計測装置において、停止指令に応じて前記被計測物体の移動を停止させる移動停止手段と、前記投光手段と前記被計測物体の間または前記被計測物体と前記光検出器の間に設けられ、閉指令に応じて前記光検出器アレイに入力される光を遮断するシャッタ手段と、光検出行程では、前記移動停止手段に対して停止指令を出力するとともに、前記シャッタ手段に対する閉指令をオフし、この停止指令が出力され、かつ閉指令がオフされている間に、前記光検出器アレイの各光検出器で光を検出し、検出データ読出し行程では、前記移動停止手段に対する停止指令をオフするとともに、前記シャッタ手段に対して閉指令を出力し、この停止指令がオフされ、かつ閉指令が出力されている間に、前記読出し手段に、前記光検出器アレイの各光検出器の検出データの読出しを行わせる制御手段とを具えた物体の計測装置における検出データ読出し装置。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01B 11/00
, G02B 5/32
G01B 11/24 C
, G01B 11/00 H
, G02B 5/32
