特許
J-GLOBAL ID：200903068999393518
光学式変位測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 長七 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-342256
公開番号（公開出願番号）：特開平6-194119
出願日： 1992年12月22日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【目的】測定物体の面性状に関係なく、正確な測定を行うことを可能とする。【構成】レーザ光の照射強度を減衰させる減衰フィルタ17を遮光板15に取り付ける。測定物体の反射率が極めて低い場合にも受光出力がノイズに埋もれないように、レーザの照射強度を設定する。測定物体の反射率が極めて高い場合に、減衰フィルタ17でスリット12を覆い、レーザの照射強度を下げる。これにより、受光出力を増幅する増幅回路が飽和することを防止し、測定物体の表面性状に関係なく、正確な測定を行うことを可能とする。
請求項（抜粋）：
投光素子としてのレーザから測定物体に光ビームを投光すると共に、測定物体からの反射光を受光素子で受光し、受光出力から三角測量方式を用いて測定物体までの距離を測定して、測定物体の表面上の変位量を測定する光学式変位測定装置において、レーザ光の照射強度を減衰させる減衰フィルタと、この減衰フィルタをレーザ光の光路上に配置するか否かを選択自在な移動機構部とを備えて成ることを特徴とする光学式変位測定装置。
IPC (2件)：
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