特許
J-GLOBAL ID：200903069016081189
異物検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-271093
公開番号（公開出願番号）：特開平7-128245
出願日： 1993年10月29日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：
【要約】【目的】フォトマスクの異物検査装置において、フォトマスク24に形成されたハターンの向きおよび形状にかかわらず異物とパターンとを確実に見分けて異物の有無を判定できるように図る。【構成】フォトマスク24のレーサ光走査領域の中心Oに対し任意の中心角度θで配置されるとともにレーザ光走査領域を含む視野をもつ一対の光検出器1a,1bと、この中心角度θを変えるリングギヤ6を含む中心角度可変機とを設け、パターンの形状に応じて設定された中心角度θを可変しレーザ光を走査しながらフォトマスク24を移動させ、このときに該パターンおよび異物からの反射光の指向性を一対の光検出器1a,1bで認識し、この光検出器1a,1bの出力信号を信号処理・判定部4で入力し波形処理して異物の有無を判定する。
請求項（抜粋）：
一方向に移動されるフォトマスク基板上に該一方向に直交する方向に所定の長さの振幅でレーザ光を走査するレーザ光照射手段と、このフォトマスク基板からの反射光を集光し光検知するとともに前記レーザ光の走査幅の中点を向いて任意の中心角度で配置しかつ前記フォトマスクに対し同一傾斜角度に傾むけられる一対の光検出器と、この一対の光検出器の前記中心角度を変える角度可変機構と、この角度可変機構により前記中心角度が変えられる間に前記一対の光検出器の出力光検出信号を入力処理し前記フォトマスクに付着する異物の有無を判定する光検出信号処理判定手段とを備えることを特徴とする異物検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G03F 1/08
, H01L 21/027
