熱電子によるクリーニング装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青木健二 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-033575
公開番号（公開出願番号）：特開平9-231936
出願日： 1996年02月21日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】【目的】電子衝撃加熱法では完全に除去できない付着物を確実に除去し、しかも装置を小型で安価なものにする。【構成】ガスボンベ29のArガスを超高真空試料処理室2内に導入した後、フィラメント加熱用電源24でフィラメント23に電流を流してフィラメント23を加熱し、かつ第2電圧印加用電源27により、ガスイオン化手段26に正の電圧を印加し、更に第1電圧印加用電源25′により、試料4に負の電圧を印加する。フィラメント23の加熱で発生した熱電子eはガスイオン化手段26の正ので電圧により加速されてArガスと相互作用を起こしてArガスをイオン化し、Ar+イオンを発生する。更にAr+イオンは、試料4の負の電圧により加速され、勢いよく試料4に衝突する。このイオン衝撃で、Ar+イオンは試料4の表面に付着している付着物をスパッターし、試料4をクリーニングする。

請求項（抜粋）：

試料処理室内にガスを導入するガス導入手段と、前記試料処理室内に配設され、加熱されることにより熱電子を発生させるフィラメントと、このフィラメントを加熱するための加熱用電源と、前記試料処理室内に配設され、試料や探針等の被クリーニング部材が取り付けられるパーキング機構と、前記被クリーニング部材に負の電圧を印加する第1電圧印加手段と、前記試料処理室内に配設され、発生した前記熱電子を加速して前記ガスに相互作用させて前記ガスをイオン化するためのガスイオン化手段と、このガスイオン化手段に正の電圧を印加するための第2電圧印加手段とを備えていることを特徴とする熱電子によるクリーニング装置。

IPC (3件)：

H01J 37/28 , G01N 1/34 , H01J 37/20

FI (3件)：

H01J 37/28 Z , G01N 1/34 , H01J 37/20 G

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