蒸着装置及び蒸着方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：毛受隆典 , 木村満
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-239530
公開番号（公開出願番号）：特開2006-059640
出願日： 2004年08月19日
公開日（公表日）： 2006年03月02日
要約：

【課題】良質の膜を形成可能な蒸着装置及び蒸着方法を提供する。【解決手段】有機EL薄膜の材料である有機材料1が装入されたルツボ容器10内には、有機材料1の気化面に接するように発熱体12が配置されている。発熱体12は、電磁誘導により発熱する磁性体材料からなる材料を含んで形成されており、加熱制御装置30がコイル20に所定の電流を供給することにより誘導加熱される。これにより、有機材料1の気化面が発熱体12により直接加熱され、有機材料1は安定して気化し、これにより良質の膜が形成される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上に有機EL(エレクトロルミネッセンス)膜を形成する蒸着方法であって、前記有機EL膜の材料となる有機材料が装入された容器内に配置された、電磁誘導により発熱する第1固体物を、誘導加熱することにより前記有機材料を気化して前記基板上に前記有機EL膜を形成する工程を備える、ことを特徴とする蒸着方法。

IPC (4件)：

H05B 33/10 , C23C 14/12 , C23C 14/24 , H01L 51/50

FI (4件)：

H05B33/10 , C23C14/12 , C23C14/24 B , H05B33/14 A

Fターム (10件)：

3K007AB18 , 3K007DB03 , 3K007FA01 , 4K029BA62 , 4K029BC00 , 4K029BD00 , 4K029CA01 , 4K029DB06 , 4K029DB17 , 4K029DB19

引用特許：

出願人引用 (1件)

国際公開第02/014575号パンフレット

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