特許

J-GLOBAL ID：200903069031403028

エッチング終点検出方法及びエッチング装置

発明者： 宮崎 俊也 ,  速水 利泰 ,  中司 忠男 ,  田中 宏幸 ,  中村 敏幸
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-306152
公開番号（公開出願番号）：特開平8-232087
出願日： 1995年11月24日
公開日（公表日）： 1996年09月10日
要約：

【要約】【課題】 正確にエッチング終点を検出することが可能なエッチング終点検出方法及びその実施に使用するエッチング装置を提供すること。【解決手段】 サンプリング区間kTにおける時系列データを平均化し(Vave)、係数AGFを求める。この係数AGFを時系列データに乗じ、定数Cを差し引く。そして所定値Gを乗じる。

請求項（抜粋）：

プロセスガス及び高周波電力を利用したプラズマエッチング処理中に発せられるプラズマ光の光量を検出し、該光量の経時的変化からエッチング終点を検出する方法において、前記光量に対応する信号の時系列データを得、該時系列データを演算処理して、光量変化量を補正し、補正後の時系列データからエッチング終点を検出することを特徴とするエッチング終点検出方法。

IPC (3件)：

C23F 4/00 ,  H01L 21/3065 ,  H05H 1/46

FI (5件)：

C23F 4/00 F ,  C23F 4/00 A ,  H05H 1/46 M ,  H01L 21/302 E ,  H01L 21/302 C

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-094629
  
• 特開昭62-159431
  
• 特開昭62-095829
  
• 特開昭61-264728