被研磨体の保持部材及びこの保持部材を用いた被研磨体の研磨方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉本勝徳 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-360679
公開番号（公開出願番号）：特開平11-188617
出願日： 1997年12月26日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：

【要約】【課題】被研磨体の厚みが薄くても、この被研磨体を歪ませること無くマウント板に固定保持することができるとともに、被研磨体が固定保持されている状態を確実に保たせて研磨の最中に被研磨体が移動することなく、研磨終了後、研磨製品をマウント板から容易に剥奪することができる研磨製品の保持部材の提供及びこの保持部材を用いた被研磨体の研磨方法の提供を目的とする。【解決手段】保持部材1は、表面側から内部に向かって貫通した複数の孔101を有しかつ吸着性を有する表面層10と、水分を通さない不透水層14との間に、連続気泡を含んでなる気泡層11を備えている構成とした。

請求項（抜粋）：

表面側から内部に向かって貫通した複数の孔を有しかつ吸着性を有する表面層と、水分を通さない不透水層との間に、連続気泡を含んでなる気泡層を備えている被研磨体の保持部材。

IPC (2件)：

B24B 37/04 , H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/04 E , H01L 21/304 622 H

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