特許

J-GLOBAL ID：200903069053835142

光重合性樹脂組成物、その硬化物および製造方法

発明者： 白井 正充 ,  岡村 晴之 ,  川崎 真一 ,  藤木 剛 ,  村瀬 裕明 ,  山田 昌宏 ,  小堀 香奈 ,  山田 光昭
出願人/特許権者： 大阪瓦斯株式会社
代理人 (1件)： 鍬田 充生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-096738
公開番号（公開出願番号）：特開2005-283905
出願日： 2004年03月29日
公開日（公表日）： 2005年10月13日
要約：

【課題】 光照射に対して高感度であり、硬化物の特性(耐熱性など)が良好な光重合性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 少なくとも一方がフルオレン誘導体である光カチオン重合性化合物(エポキシ化合物など)及びビニルエーテル化合物と、光酸発生剤とで光重合性樹脂組成物を構成する。光重合性組成物に光照射(好ましくは光照射した後、加熱)して硬化物を得る。光重合性組成物を基材に塗布し、パターン露光し、(1)現像した後、加熱、又は(2)加熱した後、現像し、硬化物を得る。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

光カチオン重合性化合物(A)、ビニルエーテル化合物(B)及び光酸発生剤(C)を含む光重合性樹脂組成物であって、光カチオン重合性化合物(A)及びビニルエーテル化合物(B)の少なくとも一方がフルオレン誘導体で構成されている光重合性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F7/027 ,  C08G59/24 ,  G03F7/004 ,  G03F7/032 ,  G03F7/075 ,  H01L21/027

FI (6件)：

G03F7/027 ,  C08G59/24 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/032 501 ,  G03F7/075 511 ,  H01L21/30 502R

Fターム (31件)：

2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AB03 ,  2H025AB15 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC23 ,  2H025BC83 ,  2H025BD03 ,  2H025BD23 ,  2H025BF30 ,  2H025CA48 ,  2H025CB30 ,  4J036AB09 ,  4J036AC01 ,  4J036AD01 ,  4J036AD08 ,  4J036AD12 ,  4J036AE07 ,  4J036AF01 ,  4J036AF06 ,  4J036FB01 ,  4J036FB16 ,  4J036GA01 ,  4J036GA06 ,  4J036GA25 ,  4J036HA01 ,  4J036HA02 ,  4J036HA03

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 特開昭61-243869号公報(特許請求の範囲)
  
• 特開昭63-258975号公報(特許請求の範囲)
  
• 樹脂組成物、永久レジスト樹脂組成物及びこれらの硬化物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-269172   出願人：日本化薬株式会社
• 感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-014828   出願人：株式会社日本触媒
• 光重合性樹脂組成物、その硬化物および製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-154018   出願人：大阪瓦斯株式会社

審査官引用 (3件)

• 放射線硬化性樹脂組成物及びその硬化物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-188331   出願人：日本化薬株式会社
• 光重合性樹脂組成物、その硬化物および製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-154018   出願人：大阪瓦斯株式会社
• フルオレン系光重合性樹脂組成物、その硬化物および製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-235663   出願人：大阪瓦斯株式会社