特許
J-GLOBAL ID:200903069063326394

自動焦点装置を備えた顕微鏡

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 篠原 泰司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-074272
公開番号(公開出願番号):特開平5-080247
出願日: 1983年03月29日
公開日(公表日): 1993年04月02日
要約:
【要約】【目的】自動焦点合わせを短時間で行うことである。【構成】ピント合わせ用撮像素子61の撮像データに基づいてCPU51で合焦位置を検出するまで、ステージ駆動部72を介してステージ73を光路方向に駆動させる。対物レンズの理論的ピント位置より若干下方にステージの基準位置を設定しておく。ステージの移動範囲の上限位置と下限位置、及び基準位置に位置センサー145,146,147を設置する。ピント合わせ時にステージを基準位置に移動させ、ステージを100μmづつ上方へ移動させてその都度撮像データが合焦位置のものか判定し、合焦位置でステージを停止させる。
請求項(抜粋):
撮像素子で受光された光量に基づいて焦準駆動部によってステージを上下動させ、合焦位置でステージを停止させるようにした、自動焦点装置を備えた顕微鏡において、対物レンズに対する理論的な合焦位置より光路方向に若干ずれた位置を基準位置として設定する手段と、焦点調整時に前記ステージを該基準位置に移動させる基準位置移動手段と、該基準位置から所定間隔毎に前記理論的な合焦位置方向にステージを移動させる手段と、合焦位置で前記ステージを停止させるステージ停止手段とを備えたことを特徴とする自動焦点装置を備えた顕微鏡。
IPC (2件):
G02B 7/28 ,  G02B 21/00

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