特許
J-GLOBAL ID：200903069074649454
基板洗浄用キャリア及び基板洗浄方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北谷 寿一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-108850
公開番号（公開出願番号）：特開平7-321079
出願日： 1994年05月24日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：
【要約】【目的】 基板処理装置の大型化を抑制し、基板Wの移し替えのための高い整合精度を緩和し、基板Wのチャックミスや基板受け渡し具の近接側凸部の破損を防止しつつ、基板の処理能力を高める。【構成】 複数の基板Wを起立姿勢で前後に並列させて収容する左右一対の側部保持枠41と、基板Wの左右両下縁を受け止める左右一対の下縁保持枠45と、側部保持枠41及び下縁保持枠45の前後端部にそれぞれ固着された前後一対の端部固定枠48と、上記側部保持枠41及び下縁保持枠45に一体に架設した中間リブ50とから成る。キャリアチャック15Cの鉤持用鍔部44は左右一対の側部保持枠41に一体に形成し、上記中間リブ50は基板搬送用キャリア1個分の基板収納溝及び基板受止溝を単位溝群Dとして各単位溝群D間に配置する。
請求項（抜粋）：
複数の基板を起立姿勢で前後に並列させて収容する基板収納溝を有し、この基板収納溝同士が左右に対向するように配置した左右一対の側部保持枠と、上記基板収納溝と同一ピッチで同一垂直面内に形成した基板受止溝を有し、この基板受止溝で基板の左右両下縁を受け止めるように側部保持枠の下方にそれぞれ配置された左右一対の下縁保持枠と、上記一対の側部保持枠及び一対の下縁保持枠の前後端部にそれぞれ固着された前後一対の端部固定枠とから成り、左右一対の側部保持枠にキャリアチャックの鉤持用鍔部を一体に形成して構成した基板洗浄用キャリアにおいて、上記基板洗浄用キャリアは、基板搬送用キャリアの基板収納溝と同一ピッチで基板搬送用キャリア複数個分の基板収納溝及び基板受止溝を有し、当該キャリア1個分の基板収納溝及び基板受止溝を単位溝群として各単位溝群間に中間リブを配置し、この中間リブを上記一対の側部保持枠及び一対の下縁保持枠に一体に架設したことを特徴とする基板洗浄用キャリア。
IPC (5件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
, B08B 11/02
, B65D 85/86
, H01L 21/68
