特許

J-GLOBAL ID：200903069076320247

エキシマレーザ装置

発明者： 関口 信一 ,  篠崎 弘行
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-020681
公開番号（公開出願番号）：特開2001-210896
出願日： 2000年01月28日
公開日（公表日）： 2001年08月03日
要約：

【要約】【課題】 ファンの駆動力が少なくてすみ、振動の小さいエキシマレーザ装置を提供すること。【解決手段】 レーザガスを封入するレーザ容器1と、該レーザ容器内に配置されたレーザ光の発振を可能にする放電を得るための一対の主放電電極2、2と、該主放電電極2、2間に高速のレーザガス流を作り出す貫流ファン3を具備するエキシマレーザ装置において、貫流ファン3の回転軸4は該貫流ファン3の軸方向片側に突出して設けており、該回転軸4を支持するラジアル磁気軸受9、10、アキシャル磁気軸受11と該貫流ファン3を駆動するモータ12を該回転軸4に沿って配置した。

請求項（抜粋）：

レーザガスを封入するレーザ容器と、該レーザ容器内に配置されたレーザ光の発振を可能にする放電を得るための一対の主放電電極と、該主放電電極間に高速のレーザガス流を作り出す貫流ファンを具備するエキシマレーザ装置において、前記貫流ファンの回転軸は該貫流ファンの軸方向片側に突出して設けており、該回転軸を支持する磁気軸受と該貫流ファンを駆動するモータを該回転軸に沿って配置したことを特徴とするエキシマレーザ装置。

IPC (7件)：

H01S 3/036 ,  F04D 17/04 ,  F04D 29/04 ,  F04D 29/28 ,  F04D 29/30 ,  F04D 29/30 101 ,  F04D 29/66

FI (9件)：

F04D 17/04 G ,  F04D 17/04 A ,  F04D 29/04 M ,  F04D 29/04 P ,  F04D 29/28 E ,  F04D 29/30 G ,  F04D 29/30 101 ,  F04D 29/66 Z ,  H01S 3/03 J

Fターム (35件)：

3H022AA02 ,  3H022BA04 ,  3H022BA06 ,  3H022CA16 ,  3H022CA50 ,  3H022CA55 ,  3H022DA11 ,  3H022DA14 ,  3H022DA20 ,  3H031AA00 ,  3H031AA02 ,  3H031AA03 ,  3H031AA04 ,  3H031AA11 ,  3H031BA01 ,  3H031BA02 ,  3H031BA05 ,  3H031BA21 ,  3H031BA22 ,  3H031BA31 ,  3H031CA01 ,  3H033AA02 ,  3H033BB02 ,  3H033BB06 ,  3H033BB20 ,  3H033CC01 ,  3H033CC06 ,  3H033DD04 ,  3H033DD26 ,  3H033EE06 ,  3H033EE11 ,  5F071AA06 ,  5F071EE04 ,  5F071JJ03 ,  5F071JJ10